أكثر من مجرد غرفة نظيفة أو بيئة خاضعة للرقابة، وفقًا لتعريف الغرفة النظيفة وفقًا لمعيار ISO 14644-1، يتم تعريف الغرفة النظيفة على أنها:
"غرفة يتم فيها التحكم في تركيز الجسيمات المحمولة في الهواء، ويتم بناؤها واستخدامها بطريقة تقلل من إدخال وتوليد واحتباس الجسيمات داخل الغرفة، ويتم التحكم في المعلمات الأخرى ذات الصلة، مثل درجة الحرارة والرطوبة والضغط، حسب الضرورة"
يتم تقليل إدخال وتوليد واحتباس الجزيئات في غرفة نظيفة بثلاث طرق:
- تزويد الغرفة بكمية كبيرة من الهواء المفلتر بفلاتر عالية الكفاءة (فلتر HEPA أو ULPA). يعمل الهواء المفلتر على تخفيف وإزالة الجسيمات والبكتيريا والمواد الكيميائية من داخل الغرفة. كما يستخدم الهواء لضغط الغرفة وضمان دوران الهواء النظيف الخالي من الملوثات في الغرفة.
- يجب بناء الغرفة النظيفة نفسها بمواد لا تنتج ملوثات أو جزيئات أو مواد كيميائية محمولة في الهواء ويجب أيضًا أن تكون سهلة التنظيف.
- يجب على مشغلي الغرف النظيفة ارتداء ملابس تقلل من انتشار الجسيمات والكائنات الحية الدقيقة التي يولدها البشر مثل الشعر وقشور الجلد وألياف الملابس وما إلى ذلك. في الواقع، يشكل تلوث قاعدة المشغل ما بين 70% و80% من تلوث الغرف النظيفة. لتقليل مخاطر التلوث، يرتدي مشغلو الغرف النظيفة عادةً ملابسهم في غرفة ارتداء الملابس، والتي يشار إليها أيضًا باسم الغرفة الأمامية. يمكن أيضًا استخدام الدشات الهوائية.